|
Titre :
|
Maxi wafer pour micro capteurs à prix mini ! (2015)
|
|
Auteurs :
|
Vahé Ter Minassian, Auteur
|
|
Type de document :
|
Article : texte imprimé
|
|
Dans :
|
Défis du CEA (Paris) (203, 12/2015)
|
|
Article en page(s) :
|
p.6
|
|
Note générale
|
Lexique.
|
|
Langues de la publication :
|
Français
|
|
Mots-clés :
|
capteur/Internet
|
|
Résumé :
|
Démonstration, par le CEA, de la faisabilité de la fabrication des MEMS, microsystèmes électromagnétiques, à partir de plaques (ou "wafers") de silicium de 300mm. Avantages économiques produits par cette taille du wafer pour fabriquer les capteurs. Principes de fabrication et enjeux pour l'Internet des objets (IoT : Internet of Things).
|
|
Nature du document :
|
Article de périodique
|
